仪器设备
电镜室联系方式
办公室电话：88830416
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电子束曝光系统
Raith ELPHY Quantum Electron Lithography （kit） 生产厂家：德国Raith公司
主要性能指标
单次曝光精度约 100nm；套刻精度约 600nm。
主要功能
电子束曝光是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术。本设备可以制备特征尺寸约100nm的图形的微细加工（详见下图）。主要用于精密二维掩膜制造、微纳器件加工等。
联系人
尚老师 15273164304 张老师 15388928816 0731-88830416